NVP81系列高频动态压力传感器MHz级响应压力变送器
NVP81系列高频动态压力传感器：
NVP81高频响压力传感器利用硅优良的弹性力学特性，采用微机械加工技术、齐平封装结构、集成硅膜片敏感元件，其有效尺寸小，动态频率响应极高（最高可达到1MHz），可获得低至零频、高至接近固有频率的宽频带响应，而且具有低至微秒级的上升时间，其综合性能优于压电动态压力传感器。该系列产品适用于军事工程、化爆试验、石油勘采与测井、材料、力学、土木工程学、岩土力学、创伤医学、液压动力机械试验等科学试验与现代化仪器仪表中，是动态压力波形测量的首选。其性能指标达到国际先进水平，可完全替代国外同类产品。可选笔形冲击波型压力传感器。
基于SOI的MEMS压力敏感器件
齐平封装，良好的动态特性
压力测量范围宽
长期稳定性很好
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动态频响 |
最高1MHz |
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测量介质 |
与硅、不锈钢、玻璃兼容的各种液体或气体 |
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量 程 |
0～10KPa……60MPa |
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非线性 |
0.05%FS |
0.15%FS |
0.3%FS |
0.5%FS |
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迟滞、重复性 |
0.03%FS |
0.1%FS |
0.2%FS |
0.3%FS |
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精 度 |
0.1%FS |
0.2%FS |
0.5%FS（典型） |
1%FS |
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过载压力 |
≥200%FS |
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长期稳定性 |
优于0.2%FS/年 |
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电气特性 |
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满量程输出 |
80mV±20mV |
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零点輸出 |
≤±2mV |
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供 电： |
1.5mA，5mA或9V |
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电气接口 |
自带锁紧结构，或其它 |
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绝缘电阻 |
100MΩ(50VDC) |
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环境特性 |
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零点温度系数 |
0.03%FS/℃(典型) |
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灵敏度温度系数 |
0.03%FS/℃（典型） |
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补偿温度范围 |
0～70℃ |
-25～50℃ |
25～125℃ |
25～175℃ |
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存储温度范围： |
-40℃～125℃ |
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相对湿度 |
0%～85% RH |
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结构性能 |
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压力接口 |
M20×1.5，M12×1，或其它 |
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壳体及接口材料 |
1Cr18Ni9TI |
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重量 |
约150g |
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